ALD&PLD系統

 

?ALD-AFM雙室系統 ?ALD系統-S-ALD ?ALD系統-多路管流 ?ALD系統-粉體

?ALD系統-一代平面(含AE_Litmas等離子源)

ALD系統-卷到卷 ALD系統-離心 Picosun ALD R200
??TSST蒸鍍磁控PLD

 

 

材料制備

 

?KQ5200DE型超聲波清洗器 Millipore超純水儀 ?QM-3SP2行星式球磨機 ?TG16-ws離心機
WZ-50C6單道注射泵 布勞恩UniLab手套箱 ?成都銘恒PDC-MG等離子清洗機 ?合肥科晶VGB-3國產手套箱
?科晶GSL-1500X真空管式爐 ?力辰科技去離子水儀 ?馬弗爐 ?真空干燥箱

 

 

光電測量

 

?CHF-XM-500W 氙燈 ?Crowntech IPCE測試系統 ?Autolab電化學工作站 ?Perfect Light-FX300光源
? ?
?J. A. Woollam橢偏儀 ?PSM-2010可程式交換式直流電源供應器 ?金鑲KR-20005大功率程控直流電源 ?科思特CS310電化學工作站
?兆信KXN-1603D直流穩壓電源

 

 

催化表征

 

AMETEK_Dycor_LC-D200_RGA殘余氣體分析儀 ?Horiba_MEXA-584L尾氣分析儀 ?MKS_Multigas6030 ?泛泰4100
?佛分FGA-4100汽車排氣分析儀 ?沃德VDSorb-91i ?嶗應7030智能皂膜流量計 ?FINESORB-3010e程序升溫化學吸附儀

 

 

通用儀器

 

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2XZ-1旋片式真空泵 AE_Litmas等離子源 Agilent 5500原子力顯微鏡 EwardsAPGX-H真空計
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Hiden_HPR-20質譜儀 NICOLET IS50紅外儀器 ?氮氧分析儀CLD822Mh ?美國Kino動態靜態接觸角儀
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